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高敦科技股份有限公司


 高敦科技成立初以真空代理業務為主,提供各式真空相關零組件,如:射頻(RF)和直流(DC)電漿電源供應器、磁控濺鍍源、氣體質量流量計、真空計、膜厚計和真空幫浦…等,其主要銷售對象為國內設備商。2002年業務開始轉型以投入系統設計與機台和設備組裝為主,加上本身為真空零組件代理商之優勢,在2006年完成轉型且逐漸步入成熟階段並與學校和研究院等學術單位合作開發如脈衝雷射蒸鍍系統、原子層沉積(ALD)和銅銦鎵硒(CIGS)真空成膜系統並掌握關鍵的製程技術,進而成功開發具超高真空(UHV)的真空腔體設備,且真空度測試可達到10-10 Torr左右。


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